○○대학교 실습 KIT 활용

포토리소그래피 실습 현장 4

FE-SEM·AFM 분석 실습에 실습 KIT를 활용하였습니다. 나노·마이크로 구조의 크기와 형상에 따른 이미징 특성을 직접 관찰하는 방식으로 진행되었습니다.

교육 내용

  • FE-SEM을 이용한 나노 구조 및 결함 관찰
  • AFM을 이용한 박막 두께·표면 형상 측정
  • 분석 장비별 측정 조건과 데이터 비교

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